產(chǎn)品展示PRODUCTS
Apollowave a200CS/a300CS手動晶圓探針臺
更新日期：2026-07-07
訪問量：12
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址：日本
一、日本 Apollowave a200CS/a300CS手動晶圓探針臺 產(chǎn)品基礎(chǔ)信息
| 項目 | 詳情 |
|---|---|
| 品牌型號 | Apollowave α200CS（6寸）、α300CS（8寸）手動晶圓探針臺 |
| 平臺結(jié)構(gòu) | 重型鑄鐵底座，三軸精密微分手動微調(diào)平臺，微米級位移刻度，無電動驅(qū)動 |
| 晶圓適配 | α200CS最大6英寸晶圓；α300CS最大8英寸晶圓/陶瓷基板 |
| 視覺系統(tǒng) | 同軸落射光學(xué)顯微鏡，可選配CCD相機+顯示屏顯微成像觀測 |
| 核心應(yīng)用 | 高校、研發(fā)實驗室少量射頻/光子/功率芯片樣品手動探針測試、失效分析 |
二、核心規(guī)格參數(shù)
| 參數(shù)項 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 |
|---|---|
| 位移控制 | X/Y/Z三軸微分手輪微調(diào)，微米級細分刻度，人工精細定位 |
| 載片固定 | 真空吸附陶瓷載片臺，可拓展高低溫冷熱溫控卡盤模塊 |
| 操作模式 | 全手動操作，無自動化程序步進，適合單點、少量樣品反復(fù)調(diào)試 |
| 探針兼容 | GSG/GSGSG射頻微波探針、多通道直流探針卡通用適配 |
| 信號接口 | 標(biāo)準(zhǔn)射頻同軸端口、直流偏置端子，對接各類射頻、半導(dǎo)體測試儀表 |
| 拓展配置 | 高低溫溫控卡盤、CCD成像顯示系統(tǒng)、探針清潔套件可選加裝 |
| 適用工況 | 實驗室間歇式少量樣品研發(fā)、芯片失效精細分析，不適合大批量連續(xù)抽檢 |
| 空間占地 | 小型緊湊臺式機身，常規(guī)實驗室操作臺可直接擺放，占用空間小 |
三、產(chǎn)品核心性能優(yōu)勢
1. 6寸/8寸雙機型，研發(fā)實驗室預(yù)算靈活選型
α200CS整機體積更小、采購成本更低，適配高校、小型研發(fā)團隊6英寸及以內(nèi)小樣測試；α300CS臺面更大，滿足企業(yè)8英寸流片基板研發(fā)驗證，客戶可根據(jù)自有晶圓規(guī)格、預(yù)算精準(zhǔn)匹配，無需承擔(dān)自動化設(shè)備高額投入。
2. 微米微分手動微調(diào)平臺，微小芯片精細點位可控調(diào)試
三軸配備高精度微分手輪，位移刻度細分至微米級，工程師可極緩慢、精準(zhǔn)調(diào)節(jié)晶圓與探針相對位置，針對毫米波裸片、光子波導(dǎo)、失效故障芯片精細點位分析，手動微調(diào)可控性優(yōu)于電動自動平臺，便于多組對比實驗。
3. 同軸光學(xué)顯微觀測，微小焊盤可視化精準(zhǔn)扎針
采用同軸落射照明光學(xué)鏡筒，可選外接CCD投屏顯示器，微米級芯片電極清晰放大，人工直觀觀察探針接觸狀態(tài)，精準(zhǔn)控制扎針壓力，大幅減少探針劃傷焊盤、接觸電阻異常導(dǎo)致的測試失效，適配高精度光電器件研發(fā)。
4. 真空載片臺+高低溫拓展，常溫、冷熱可靠性實驗全覆蓋
標(biāo)準(zhǔn)真空吸附牢牢固定晶圓，手動微調(diào)過程不會出現(xiàn)晶圓滑動偏移；可加裝熱電/液氮溫控卡盤，實現(xiàn)寬溫區(qū)間芯片溫變電學(xué)性能測試，滿足功率器件、射頻功放高低溫可靠性研發(fā)實驗需求。
5. 射頻、直流雙信號兼容，單臺覆蓋多品類半導(dǎo)體研發(fā)需求
機身集成標(biāo)準(zhǔn)化射頻同軸接口與直流偏置端子，搭配微波探針可完成濾波器、射頻功放S參數(shù)、插損隔離度射頻測試；更換直流探針卡即可測試MOS、二極管IV曲線、擊穿電壓，一套設(shè)備同時支撐射頻通信與功率分立器件研發(fā)。
6. 無電動伺服結(jié)構(gòu)，采購與長期維護成本更低
整機去掉電機、驅(qū)動器、工控自動化系統(tǒng)，硬件結(jié)構(gòu)簡單，初始采購?fù)度脒h低于半自動、全自動探針臺；無電動易損件故障，日常僅需定期潤滑導(dǎo)軌，維護工作量與耗材成本大幅降低，適合預(yù)算有限研發(fā)場景。
7. 小型緊湊機身，實驗室多儀器緊湊布局友好
整機占地面積小于自動化探針臺，無需獨立大型設(shè)備機房，可直接放置標(biāo)準(zhǔn)實驗操作臺，適配高校、小型研發(fā)實驗室儀器密集擺放的空間環(huán)境。
四、日本 Apollowave a200CS/a300CS手動晶圓探針臺 適用行業(yè)與應(yīng)用場景
高校微電子/射頻通信實驗室：光纖通信、半導(dǎo)體器件教學(xué)實驗、新工藝流片小樣性能驗證
射頻半導(dǎo)體研發(fā)部門：GaN/GaAs毫米波功放、LTCC濾波基板少量樣品射頻特性摸索測試
光電子光子芯片實驗室：硅基、氮化硅波導(dǎo)、光電探測器裸片直流電學(xué)耦合驗證
半導(dǎo)體失效分析工位：故障芯片拆解后裸片微小點位精細探針定位故障分析
功率半導(dǎo)體研發(fā)工位：MOS、IGBT、整流二極管小樣IV曲線、耐壓特性摸底實驗
無源陶瓷基板研發(fā)實驗室：小型LTCC濾波基板射頻插損、駐波比小樣測試
