產(chǎn)品展示PRODUCTS
OZG-3306 高精度紫外式臭氧氣體濃度計(jì)
更新日期:2026-07-08
訪問量:9
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址:日本
一、日本 Applics OZG-3305、 OZG-3306 高精度紫外式臭氧氣體濃度計(jì) 產(chǎn)品基礎(chǔ)信息
| 項(xiàng)目 | 詳情 |
|---|---|
| 品牌型號(hào) | Applics OZG-3305(中低量程)、OZG-3306(寬量程)臭氧濃度分析儀 |
| 檢測(cè)原理 | 254nm紫外分光吸收光學(xué)檢測(cè),無(wú)電化學(xué)傳感耗材,無(wú)長(zhǎng)期零點(diǎn)漂移 |
| 量程區(qū)分 | OZG-3305:中低濃度臭氧監(jiān)測(cè);OZG-3306:寬量程,覆蓋低至高濃度工藝 |
| 核心結(jié)構(gòu) | 內(nèi)置恒溫光學(xué)檢測(cè)腔+微型負(fù)壓采樣泵,全防腐特氟龍/不銹鋼采樣氣路 |
| 核心應(yīng)用 | 材料、半導(dǎo)體、催化實(shí)驗(yàn)室臭氧工藝在線濃度監(jiān)測(cè)、臭氧發(fā)生器配套標(biāo)定 |
二、核心規(guī)格參數(shù)
| 參數(shù)項(xiàng) | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 |
|---|---|
| 溫控設(shè)計(jì) | 光學(xué)檢測(cè)腔內(nèi)置恒溫模塊,消除環(huán)境溫差造成的測(cè)量數(shù)值偏移 |
| 采樣模式 | 內(nèi)置微型負(fù)壓抽氣泵,支持真空腔體旁路微量取樣,無(wú)需高壓載氣 |
| 數(shù)據(jù)輸出 | 前置數(shù)碼本地實(shí)時(shí)數(shù)顯;模擬電壓/電流 + RS485數(shù)字通訊雙路同步輸出 |
| 氣路防腐 | 整機(jī)采樣管路、閥件全部采用耐臭氧氧化不銹鋼與特氟龍材質(zhì) |
| 聯(lián)動(dòng)功能 | 通訊接口可對(duì)接同品牌臭氧發(fā)生器,實(shí)現(xiàn)臭氧濃度閉環(huán)自動(dòng)調(diào)節(jié) |
| 安裝方式 | 標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)式機(jī)架機(jī)箱,既可桌面平放,也支持工業(yè)機(jī)柜導(dǎo)軌固定安裝 |
| 運(yùn)行能力 | 支持7×24小時(shí)不間斷在線臭氧濃度連續(xù)監(jiān)測(cè)、間歇式取樣標(biāo)定兩用 |
| 拓展配套 | 真空旁路取樣閥組、上位機(jī)數(shù)據(jù)采集軟件、標(biāo)準(zhǔn)臭氧校準(zhǔn)氣源、機(jī)柜安裝支架可選加裝 |
三、產(chǎn)品核心性能優(yōu)勢(shì)
1. 紫外光學(xué)無(wú)損檢測(cè),無(wú)電化學(xué)傳感器,長(zhǎng)期穩(wěn)定免頻繁耗材更換
采用紫外分光吸收法檢測(cè)臭氧濃度,不依靠電解液電化學(xué)傳感芯片,不存在傳感器老化、零點(diǎn)漂移、電解液干涸失效問題,長(zhǎng)年連續(xù)在線監(jiān)測(cè)僅需定期清潔光路,大幅減少耗材采購(gòu)與停機(jī)標(biāo)定工時(shí)。
2. 雙量程機(jī)型按需選型,完整覆蓋實(shí)驗(yàn)室各類臭氧工藝濃度區(qū)間
OZG-3305針對(duì)材料改性、光電老化等低中濃度臭氧工況,性價(jià)比更高;OZG-3306拓寬檢測(cè)量程,適配大功率臭氧發(fā)生器、半導(dǎo)體晶圓高濃度清洗工藝,科研團(tuán)隊(duì)可根據(jù)自身實(shí)驗(yàn)臭氧濃度精準(zhǔn)匹配機(jī)型,避免量程過?;虿蛔?。
3. 恒溫密閉光學(xué)檢測(cè)腔,環(huán)境溫變不干擾測(cè)量精度,復(fù)測(cè)一致性好
核心檢測(cè)光路集成獨(dú)立恒溫控制系統(tǒng),實(shí)驗(yàn)室季節(jié)溫差、設(shè)備自身散熱升溫不會(huì)改變光學(xué)檢測(cè)基準(zhǔn),同一氣源多次采樣復(fù)測(cè)數(shù)值偏差極小,滿足變量對(duì)比類科研實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可追溯、可復(fù)現(xiàn)要求。
4. 負(fù)壓微量采樣泵,適配真空管式爐、真空腔體旁路取樣監(jiān)測(cè)
自帶微型負(fù)壓抽氣裝置,無(wú)需前端高壓載氣增壓,可直接從低壓真空反應(yīng)腔體抽取微量臭氧樣氣送入檢測(cè)腔,解決傳統(tǒng)正壓進(jìn)氣檢測(cè)儀無(wú)法適配真空工藝監(jiān)測(cè)的痛點(diǎn)。
5. 全防腐耐臭氧氣路,長(zhǎng)期通入強(qiáng)氧化臭氧無(wú)管路滲漏、光路污染
臭氧具備氧化腐蝕性,整機(jī)內(nèi)部所有接觸氣體的管路、密封件、閥件均選用專用耐氧化不銹鋼與特氟龍材質(zhì),長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)通臭氧運(yùn)行不會(huì)出現(xiàn)管路硬化、氣體滲漏、鏡片污染衰減故障。
6. 本地直讀+雙路信號(hào)輸出,人工巡檢、自動(dòng)化產(chǎn)線采集兩用
機(jī)身正面數(shù)碼管實(shí)時(shí)展示瞬時(shí)臭氧濃度,現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)人員無(wú)需配套軟件即可直觀讀取數(shù)值;同步提供模擬量與RS485數(shù)字通訊兩路輸出,可接入PLC、工控電腦自動(dòng)記錄全程濃度曲線,完整留存工藝實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)用于報(bào)告歸檔。
7. 可與臭氧發(fā)生器閉環(huán)聯(lián)動(dòng),自動(dòng)穩(wěn)定腔體臭氧濃度
設(shè)備通訊協(xié)議適配Applics GT系列臭氧發(fā)生器,檢測(cè)儀實(shí)時(shí)反饋實(shí)測(cè)腔內(nèi)臭氧濃度,發(fā)生器自動(dòng)上調(diào)/下調(diào)臭氧輸出功率,無(wú)需人工反復(fù)手動(dòng)調(diào)節(jié)參數(shù),全程維持工藝所需恒定臭氧濃度,降低人工值守操作工作量。
四、日本 Applics OZG-3305、 OZG-3306 高精度紫外式臭氧氣體濃度計(jì) 適用行業(yè)與應(yīng)用場(chǎng)景
高校材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)室:二維材料、納米薄膜臭氧表面氧化親水改性工藝實(shí)時(shí)濃度監(jiān)測(cè)
半導(dǎo)體光電子研發(fā)部門:硅/GaN晶圓臭氧干法清洗、光電器件臭氧加速老化濃度閉環(huán)監(jiān)控
環(huán)境催化科研團(tuán)隊(duì):大氣VOC臭氧氧化降解模擬實(shí)驗(yàn)、催化反應(yīng)尾氣臭氧含量連續(xù)檢測(cè)
臭氧設(shè)備配套標(biāo)定工位:GT系列實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生器出廠、實(shí)驗(yàn)前輸出濃度精準(zhǔn)校準(zhǔn)標(biāo)定
高分子新材料實(shí)驗(yàn)室:塑料薄膜臭氧接枝改性實(shí)驗(yàn)恒定臭氧濃度持續(xù)在線監(jiān)控
真空工藝研發(fā)實(shí)驗(yàn)室:真空管式爐、真空反應(yīng)腔體旁路微量臭氧取樣濃度實(shí)時(shí)檢測(cè)






