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Applics GT-10 小型臺式臭氧氣體發(fā)生器

Applics GT-10 小型臺式臭氧氣體發(fā)生器

更新日期:2026-07-07

訪問量:13

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:日本

簡要描述:
日本 Applics GT-10 小型臺式臭氧氣體發(fā)生器,面向高校、企業(yè)研發(fā)實驗室微量精密工藝開發(fā)小型高純臭氧氣源設備;采用低溫純氧電暈放電原理,避免空氣源設備產(chǎn)生氮氧化物雜質(zhì),保護晶圓、二維薄膜等敏感樣品;整機一體化不銹鋼防腐機箱,耐臭氧強氧化腐蝕,頂部配備便攜提手

一、日本 Applics GT-10 小型臺式臭氧氣體發(fā)生器 產(chǎn)品基礎信息

項目詳情
品牌型號Applics GT-10 小型臺式臭氧氣體發(fā)生器
發(fā)生原理低溫純氧電暈放電制臭氧,無NOx氮氧化物副產(chǎn)物,氣體純度高
氣源適配外接干燥高純氧氣,適配小型制氧機、氧氣鋼瓶兩類氣源
機身結(jié)構(gòu)一體式防腐不銹鋼臺式機箱,便攜提手,耐臭氧氧化腐蝕
核心應用高校材料、半導體、催化實驗室微量工藝臭氧供氣,薄膜/晶圓改性清洗實驗

二、核心規(guī)格參數(shù)

參數(shù)項標準規(guī)格
濃度控制電控閉環(huán)連續(xù)線性調(diào)節(jié)臭氧輸出濃度,長時間運行漂移小,實驗重復性好
氣路設計內(nèi)置穩(wěn)壓緩沖腔體,小流量輸出氣流平穩(wěn)無脈沖,適配微量科研工藝
操作面板前置數(shù)字顯示屏,支持濃度設定、定時啟停,人機操作簡潔直觀
氣路配件全管路不銹鋼+特氟龍密封件,耐受臭氧長期強氧化腐蝕
拓展配套可搭配臭氧尾氣分解器、質(zhì)量流量計、在線臭氧濃度檢測儀、管式爐真空腔體聯(lián)動
運行模式支持間歇短時間工藝實驗、長時間連續(xù)材料老化改性測試兩種工況
擺放形式小型臺式結(jié)構(gòu),占用操作臺面積極小,適配儀器密集型實驗室
安全設計標準化出氣接口,可串聯(lián)尾氣處理裝置,殘余臭氧分解無害排放

三、產(chǎn)品核心性能優(yōu)勢

1. 純氧放電無氮氧化物雜質(zhì),適配半導體、二維材料精密科研

區(qū)別普通空氣式臭氧發(fā)生器,整機僅使用高純氧氣作為氣源,電暈放電過程不會生成NOx、硝酸類雜質(zhì),不會污染晶圓、納米薄膜、光電芯片,保障精密材料實驗無額外干擾雜質(zhì)引入。

2. 閉環(huán)電控連續(xù)可調(diào)臭氧濃度,多次實驗數(shù)據(jù)一致性高

內(nèi)置閉環(huán)反饋調(diào)節(jié)模組,臭氧輸出濃度線性連續(xù)可調(diào),設備長時間連續(xù)工作濃度漂移幅度極低,同一工藝參數(shù)重復實驗條件穩(wěn)定,滿足對比類、變量類科研實驗數(shù)據(jù)可追溯要求。

3. 小型臺式輕量化機身,實驗室操作臺可直接擺放

整機體積大幅壓縮,配備頂部便攜提手,無需獨立設備機柜,可就近放置管式爐、探針臺、反應釜旁配套供氣,解決大型臭氧設備占地大、搬運不便的痛點。

4. 全防腐不銹鋼+特氟龍氣路,抵御臭氧強氧化腐蝕

臭氧具備氧化腐蝕性,整機內(nèi)部腔體、外殼、密封管路全部采用耐氧化不銹鋼與特氟龍材質(zhì),長期持續(xù)通臭氧運行無管路老化、氣體滲漏,降低日常耗材更換頻次。

5. 穩(wěn)壓緩沖氣路,小流量輸出氣流平穩(wěn)無氣壓脈沖

針對實驗室微量工藝優(yōu)化內(nèi)置穩(wěn)壓緩沖腔,輸出臭氧混合氣氣流平緩,通入真空腔體、管式爐不會造成腔內(nèi)氣壓劇烈波動,維持反應環(huán)境穩(wěn)定可控。

6. 數(shù)顯一體化簡易操控,無需專業(yè)培訓快速上手

機身正面集成數(shù)字顯示操作面板,可直接設置目標臭氧濃度、定時工作時長,一鍵啟動/停止臭氧輸出,操作邏輯簡單,高校學生、實驗室操作人員均可快速掌握。

7. 兼容標準尾氣分解裝置,實驗室安全合規(guī)使用

出氣端采用通用標準化氣路接頭,可直接串聯(lián)專用臭氧尾氣分解處理器,將實驗殘余臭氧分解為氧氣,無刺激性有毒氣體外泄,符合高校、企業(yè)實驗室通風安全管理規(guī)范。

四、適用行業(yè)與應用場景

  • 高校材料科學實驗室:二維材料、納米薄膜臭氧表面氧化、親水改性、缺陷調(diào)控科研實驗

  • 半導體光電子研發(fā)部門:硅晶圓、GaN基芯片臭氧干法清洗、光電器件加速老化可靠性測試

  • 環(huán)境催化科研團隊:大氣VOC污染物臭氧氧化降解、催化反應機理模擬基礎實驗

  • 高分子新材料實驗室:塑料薄膜表面臭氧接枝改性,提升薄膜附著力與親水性能

  • 生物菌種實驗室:密閉腔體低溫臭氧微生物滅活、不同消殺濃度對照實驗

  • MEMS精密器件工藝工位:微型傳感芯片臭氧表面預處理、微型薄膜清洗工藝摸索


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