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日本北野精機(jī) KML-34 迷你 Z 軸直線導(dǎo)入機(jī)
更新日期：2026-05-14
訪問(wèn)量：118
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商
生產(chǎn)地址：日本
簡(jiǎn)要描述：
日本北野精機(jī) KML-34 迷你 Z 軸直線導(dǎo)入機(jī)，可實(shí)現(xiàn)腔室內(nèi)部件的精密升降定位，結(jié)構(gòu)緊湊、低污染，適配小型真空鍍膜設(shè)備、表面分析儀器的樣品臺(tái)控制需求。
一、產(chǎn)品概述
日本北野精機(jī) KML-34 迷你 Z 軸直線導(dǎo)入機(jī)，是專為超高真空（UHV）環(huán)境設(shè)計(jì)的精密直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。它通過(guò)密封傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，在不破壞腔室真空度的前提下，實(shí)現(xiàn)樣品臺(tái)或部件的 Z 軸方向升降與定位，廣泛應(yīng)用于小型真空鍍膜設(shè)備、表面分析儀器等科研場(chǎng)景。
二、核心特點(diǎn)
? 迷你緊湊型設(shè)計(jì)，適配小型真空腔室體積小巧，占用腔室空間極小，采用標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭接口，可直接安裝在各類小型真空設(shè)備上，適配鍍膜機(jī)、表面分析儀器的空間限制。
? 超高真空適配，低污染無(wú)出氣專為 UHV 環(huán)境優(yōu)化，采用低出氣率材料與可靠密封結(jié)構(gòu)，可在 10??Pa 級(jí)高真空條件下穩(wěn)定工作，無(wú)雜質(zhì)污染，保障實(shí)驗(yàn)環(huán)境潔凈度。
? 精密直線運(yùn)動(dòng)，微米級(jí)定位精度采用精密機(jī)械傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的定位精度，滿足樣品臺(tái)高度微調(diào)、蒸發(fā)源距離控制等高精度實(shí)驗(yàn)需求，提升薄膜沉積均勻性與實(shí)驗(yàn)重復(fù)性。
? 波紋管 / 磁流體密封，真空性能可靠采用波紋管或磁流體密封結(jié)構(gòu)，確保運(yùn)動(dòng)過(guò)程中腔室真空度不受影響，無(wú)泄漏風(fēng)險(xiǎn)，適配長(zhǎng)期連續(xù)實(shí)驗(yàn)運(yùn)行。
? 易集成安裝，維護(hù)便捷標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭接口設(shè)計(jì)，無(wú)需復(fù)雜改造即可集成到現(xiàn)有真空系統(tǒng)中，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠，維護(hù)成本低。
三、基礎(chǔ)參數(shù)
表格
| 項(xiàng)目 | 詳情 |
|---|---|
| 品牌 | 北野精機(jī)（Kitano Seiki，日本） |
| 型號(hào) | KML-34 |
| 工作原理 | 密封傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，外部驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)化為腔室內(nèi)直線運(yùn)動(dòng) |
| 適配環(huán)境 | 超高真空（UHV）環(huán)境 |
| 安裝方式 | 標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭安裝 |
| 定位精度 | 微米級(jí) |
| 結(jié)構(gòu)特點(diǎn) | 迷你緊湊型，低污染設(shè)計(jì) |
四、日本北野精機(jī) KML-34 迷你 Z 軸直線導(dǎo)入機(jī) 適用場(chǎng)景
真空鍍膜設(shè)備：樣品臺(tái) Z 軸升降控制，實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源與樣品的距離微調(diào)，優(yōu)化薄膜沉積均勻性。
表面科學(xué)儀器：掃描探針顯微鏡、俄歇電子能譜儀等設(shè)備的樣品臺(tái)精密定位，實(shí)現(xiàn)樣品高度的精準(zhǔn)控制。
材料科學(xué)實(shí)驗(yàn)：超高真空環(huán)境下的樣品加熱、冷卻裝置升降，適配原位實(shí)驗(yàn)研究需求。
半導(dǎo)體工藝設(shè)備：小型真空設(shè)備中部件的精密直線驅(qū)動(dòng)，滿足低污染、高精度的工藝要求。
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