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射頻等離子體清洗 / 處理設(shè)備

射頻等離子體清洗 / 處理設(shè)備

更新日期:2026-03-28

訪問量:239

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:日本

簡(jiǎn)要描述:
RFPC-550 是一款中型射頻等離子體清洗 / 處理設(shè)備,采用 RF 等離子技術(shù),在真空腔體中實(shí)現(xiàn)高精度表面清洗、活化與去膠,適合半導(dǎo)體、精密制造等領(lǐng)域的工藝研發(fā)與小批量生產(chǎn)。

一、產(chǎn)品定位與核心價(jià)值

RFPC-550 射頻等離子體清洗 / 處理設(shè)備 是面向制造與科研領(lǐng)域的真空射頻等離子處理系統(tǒng),聚焦于高精度、可重復(fù)的表面處理需求,解決了大氣壓等離子無法處理復(fù)雜腔體、真空度控制不足的痛點(diǎn),為半導(dǎo)體封裝、精密光學(xué)、MEMS 器件等提供可靠的表面改性與清洗方案。

二、核心性能與設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)

  1. 射頻等離子 + 真空腔體設(shè)計(jì)配備不銹鋼圓形真空腔體與 RF 射頻電源,可在低真空環(huán)境下產(chǎn)生均勻等離子體,實(shí)現(xiàn)無損傷的表面清洗、活化、去膠與親水化改性,處理效果均勻且可控。
  2. 穩(wěn)定的真空與工藝控制集成真空泵組與真空控制模塊,可精準(zhǔn)調(diào)節(jié)腔體真空度;支持氣體流量、RF 功率、處理時(shí)間等參數(shù)自定義,適配不同材料與工藝需求,保障批次間處理效果一致性。
  3. 移動(dòng)式工業(yè)結(jié)構(gòu)采用帶腳輪的機(jī)架式設(shè)計(jì),便于實(shí)驗(yàn)室 / 車間移動(dòng)部署;腔體配備觀察窗,可實(shí)時(shí)監(jiān)控等離子狀態(tài);操作面板集成儀表與控制旋鈕,直觀便捷,支持手動(dòng) / 半自動(dòng)模式。
  4. 安全與耐用性具備過壓、過流、過熱保護(hù)與真空聯(lián)鎖機(jī)制,操作安全;腔體與管路采用耐腐蝕不銹鋼材質(zhì),適配 O?、Ar、N?等多種工藝氣體,長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

三、適用場(chǎng)景與行業(yè)價(jià)值

射頻等離子體清洗 / 處理設(shè)備 廣泛應(yīng)用于:
  • 半導(dǎo)體 / 微電子:晶圓、封裝基板、MEMS 器件的表面清洗與去膠;

  • 精密光學(xué):光學(xué)鏡片、濾光片的表面清潔與親水化改性;

  • 醫(yī)療器件:植入件、微流控芯片的生物相容性提升;

  • 科研研發(fā):材料表面改性、等離子工藝基礎(chǔ)研究。

通過精準(zhǔn)的真空射頻等離子處理,幫助企業(yè)提升產(chǎn)品良率、優(yōu)化工藝穩(wěn)定性,是制造與科研領(lǐng)域的核心表面處理設(shè)備。

四、包裝與售后服務(wù)

  • 包裝:定制木箱 + 緩沖材料包裝,隨附真空泵、氣體管路、操作手冊(cè)與校準(zhǔn)證書;

  • 售后:提供 1 年原廠保修服務(wù),支持安裝調(diào)試、操作培訓(xùn)與備件供應(yīng)。


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